cMC系列内部安装结束块

我们最大的内部安装终端块，SC可以处理高达4000 mm的目标，额定功率可达200 kW DC或80 kHz MFAC。

SCI内部安装端块具有高可靠性和简单易用的设计。单端配置减少了旋转和静态密封件的数量，这是旋转阴极中最常见的故障模式之一。

我们独特的注水和排水功能可以改善目标冷却，并在排污时完全排出目标水。这种设计消除了端块内电化腐蚀的可能性，这可能导致漏水和短路。

溅射组件的内部安装端块可以安装在任何新的涂层机上，或者可以轻松替换旧的端块。